A MEMS nyomásérzékelő alapbevezetője
A MEMS nyomásérzékelő egy vékonyfilm elem, amely nyomás alatt deformálódik. Az alakváltozásmérő (piezoresistive sensing) használható a deformáció mérésére, vagy mérhető a két felület közötti távolság változásának kapacitív érzékelésével. Ez a két módszer nagyon népszerű, és a gumiabroncs nyomás ellenőrző rendszer egy robusztusabb piezoresistive módszer.