Az elektronmikroszkóp beolvasásának alapelvei
A letapogató elektronmikroszkópos elektronpisztoly által kibocsátott elektronsugár fókuszálódik, és pont fényforrásba tömörül; a pont fényforrása gyorsuló feszültség alatt nagy energiájú elektronsugarat alkot; a nagy energiájú elektronsugár két elektromágneses lencsén keresztül kis átmérőjű fényfolttá fókuszál, és áthalad az utolsón Egy letapogató tekercses elektromágneses lencse után az elektronsugár raszterszerű szkennelési módon bombázza a minta felületi pontját, és ezzel egyidejűleg különböző mélységű elektronikus jeleket gerjeszt.