Kémiai gőzfázisú leválasztási folyamat
A kémiai gőzlerakódási folyamat három fontos szakaszra oszlik: a reakciógáz diffundál a hordozó felületére, a reakciógáz felszívódik a hordozó felületére, kémiai reakció következik be a hordozó felületén szilárd lerakódást képezve, és a gázfázisú melléktermékek leválnak az aljzat felületétől. A leggyakoribb kémiai gőzlerakódási reakciók: hőbomlás, kémiai szintézis és kémiai szállítási reakciók. A TiC vagy a TiN általában úgy kerül lerakódásra, hogy TiCl4, H2, CH4 és más gázokat vezet be a reakciókamrába 850 ~ 1100 ° C hőmérsékleten, és kémiai reakció útján bevonatot képez a hordozó felületére.